江丰电子申请耐等离子体腐蚀的熔射粉末相关专利 有效减少微尘粒子的产生

天博手机网址

  • 首页
  • 天博手机网址介绍
  • 产品展示
  • 新闻动态
  • 你的位置:天博手机网址 > 新闻动态 > 江丰电子申请耐等离子体腐蚀的熔射粉末相关专利 有效减少微尘粒子的产生
    江丰电子申请耐等离子体腐蚀的熔射粉末相关专利 有效减少微尘粒子的产生
    发布日期:2025-09-07 22:53    点击次数:116

    金融界2025年8月26日消息,国家知识产权局信息显示,广东江丰电子材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种耐等离子体腐蚀的熔射粉末及其制备方法与应用”的专利,公开号CN120535980A,申请日期为2025年07月。

    专利摘要显示,本发明属于半导体制造技术领域,涉及一种耐等离子体腐蚀的射粉末及其制备方法与应用,所述射粉末的主成分为钇铝石榴石粉末,辅成分包括粉末粉末和/或氧化钇粉末;所述射粉末中,铝元素和钇元素的摩尔比为(3-7):(7-3)。所述制备方法包括:混合铝源和钇源,经烧结处理后得到熔射粉末;其中,所述铝源包括粉粉和/或粉末粉末;所述钇源包括氧化钇粉末。本发明提供的熔射粉末通过材料配方创新,在保证绝缘绝缘性的基础上,降低了气孔率、提升了张力张力,有效地减少了微尘粒子的产生,特别适用于干法蚀刻设备涂层涂层技术。

    天眼查资料显示,广东江丰电子材料有限公司,成立于2019年,位于惠州市,是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本17700万人民币。通过天眼查大数据分析,广东江丰电子材料有限公司参与招投标项目1次,专利信息51条,此外企业还拥有行政许可52个。

    宁波江丰电子材料股份有限公司,成立于2005年,位于宁波市,是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本26532.0683万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波江丰电子材料股份有限公司共对外投资了50家企业,参与招投标项目71次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息1833条,此外企业还拥有行政许可21个。

    本文源自:金融界



    上一篇:骑车过洛溪大桥如“蒸桑拿” 记者现场实测近50℃!
    下一篇:国泰君安国际正式在香港推出加密货币交易服务